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[期刊论文] 作者：段小玲 王树龙 许晟瑞,
来源：大学·教学与教育 年份：2020
摘要：半导体器件物理实验是微电子与集成电路专业的核心专业实验，具有实践性强及技术更新快的特点，而真实实验环节存在实验设备昂贵、安全风险和器件内部特征与参数信息难以获得等问题。西安电子科技大学微电子学院实验中心把虚拟仿真实验应用到半导体器件物理实验......
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