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[会议论文] 作者：段晋胜,,
来源： 年份：2004
随着微电子技术及工艺的飞速发展,湿法清洗技术越来越暴露出其一定的局限性。然而,干法清洗技术不但能够避免湿法清洗带来的环境污染问题,同时也使生产效率也大大得到了提高...
[期刊论文] 作者：魏红军,段晋胜,,
来源：电子工业专用设备 年份：2014
论述了TSV技术发展面临的设备问题,并重点介绍了深硅刻蚀、CVD/PVD沉积、电镀铜填充、晶圆减薄、晶圆键合等几种制约我国TSV技术发展的关键设备。...
[期刊论文] 作者：段晋胜,轧刚,,
来源：电子工艺技术 年份：2009
介绍了利用电镀法制造晶圆凸点的典型工艺和喷镀设备。喷镀系统是凸点电镀设备中最关健的部件。通过计算机软件模拟试验，对喷镀系统中的喷杯体和匀流板等各种参数和位置进行了......
[期刊论文] 作者：于丽君,段晋胜,,
来源：电子工业专用设备 年份：2012
为了提高多晶硅片的转换效率,提高多晶硅片少子寿命是一个重要的方法和途径,然而在生产过程中影响多晶硅片少子寿命的因素有很多,主要有杂质含量,硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等...
[期刊论文] 作者：段晋胜,魏红军,胡子卿,,
来源：电子工艺技术 年份：2013
凸点的制作方法有很多种,但是电镀法可以制作各类凸点,它对芯片的I/O数、焊区尺寸大小及凸点节距均没有限制,且适于大批量生产。介绍了垂直剪切镀技术的基本原理,根据微电子...
[期刊论文] 作者：王建花,段晋胜,董彦梅,,
来源：数字技术与应用 年份：2012
介绍了直线光栅尺的特性、优点、选型,同时详细阐述了光栅尺在切割设备中的应用和安装要求以及使用注意事项。...
[期刊论文] 作者：王建花,董彦梅,段晋胜,宋俊耀,,
来源：电子工业专用设备 年份：2013
介绍了在斜角裁切机切边送料系统开发与研制过程中，如何实现定长送料和纠偏的工艺过程。通过采用电机带动同步带结构和上下橡胶辊以及上下同步移动气缸相结合的传动结构设计了......
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