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[会议论文] 作者：毋二省,王金良,张泰华,
来源：2005年全国材料科学与工程学术会议 年份：2005
由于薄膜材料在工业中的广泛应用和MEMS的深入发展,薄膜材料的各种力学性能就显得非常重要.本文以等离子增强化学气相沉积法(Plasma-EnhancedChemicalVaporDeposition)制备的...
[期刊论文] 作者：桑敏,刘发民,丁芃,毋二省,王天民,
来源：功能材料 年份：2004
本文采用TiO2陶瓷靶及射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了一系列透明TiO2薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同衬底温度和溅射功率的TiO2薄膜结构和形貌进行了...
[期刊论文] 作者：桑敏, 刘发民, 丁芃, 毋二省, 王天民,
来源：功能材料 年份：2005
本文采用Ti O2陶瓷靶及射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了一系列透明Ti O2薄膜,利用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）对不同衬底温度和溅射功率的Ti O2薄膜结构和形貌进行了表征,结果随着溅射条件的不同会出现锐钛矿或锐钛矿-金红石的混合相。利用UV-Vis-Nir分......
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