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[期刊论文] 作者：郭俭,林海涛,毕秋吉,,
来源：机械制造 年份：2012
介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明.介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的...
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