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[期刊论文] 作者：伍远博, 陶智, 黄敏, 顾中浩, 徐超, 周长伟, 江均均,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子...
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