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[期刊论文] 作者:汪家奇,,
来源:实验技术与管理 年份:2018
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感10~5~10~(-1)Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电...
[学位论文] 作者:汪家奇,,
来源:大连理工大学 年份:2010
真空传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件。本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来,研制了一款与标准CMOS工艺兼容的集成皮拉尼传感器系统。该传感器系统利用...
[学位论文] 作者:汪家奇,
来源:沈阳工业大学 年份:2006
光纤陀螺是基于萨格奈克(Sagnac)效应的角速率传感器,它具有高精度、抗电磁干扰、体积小、稳定性高等优点,使其可以应用在新的环境之中。光纤陀螺系统技术研究是惯性技术领域...
[期刊论文] 作者:汪家奇,,
来源:教育现代化 年份:2018
光刻是集成电路加工的关键工艺,决定了集成电路发展的趋势.光刻机被誉为世界上最精密的设备.按照工作原理,光刻机可以分为接触式、接近式和投影式光刻机.国内高校普遍采用接...
[期刊论文] 作者:汪家奇,唐祯安,,
来源:传感技术学报 年份:2009
标准CMOS工艺中的多晶硅的热性能越来越稳定,因此多晶硅微热板受到一定的限制。本文设计了一种与标准CMOS工艺兼容的钨微热板。钨在CMOS工艺中作为通孔材料连接两层金属或者金...
[期刊论文] 作者:汪家奇,唐祯安,,
来源:传感技术学报 年份:2013
皮拉尼传感器广泛用于105Pa~10-1Pa的粗真空测量。本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器。它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下。该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10-1Pa~105Pa的气压有响应,尤......
[期刊论文] 作者:王奇, 刘勐, 汪家奇,,
来源:实验室科学 年份:2017
目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台...
[期刊论文] 作者:李金凤,唐祯安,汪家奇,,
来源:大连理工大学学报 年份:2009
设计了一款适用于单芯片集成真空传感器的10位SAR型A/D转换器.轨至轨比较器通过并联两个互补的子比较器实现.信号采样时,比较器进行失调消除,提高电路的转换精度.电路采用0.5...
[期刊论文] 作者:孙承松,汪家奇,李新,,
来源:沈阳工业大学学报 年份:2006
陀螺及陀螺信息采集系统是航天器的重要部件,光纤陀螺是一种新型的陀螺.介绍了光纤陀螺的基本工作原理——Sagmc效应;设计了陀螺的信息采集系统硬件和软件,采用DSP芯片进行数据采......
[期刊论文] 作者:李金凤,唐祯安,汪家奇,,
来源:半导体学报 年份:2009
An on-chip microelectromechanical system was fabricated in a 0.5 μm standard CMOS process for gas pressure detection.The sensor was based on a micro-hotplate(M...
[期刊论文] 作者:李金凤,唐祯安,汪家奇,,
来源:系统仿真学报 年份:2009
提出了一种适用于多模式零中频接收机的1位级联可重构ΣΔ调制器结构。该调制器采用双采样技术及前馈通道提高动态范围。推导了缩放系数以获取所需的噪声成形。分析了电路的非理想性,并利用Matlab/SIMULINK进行行为级建模得出电路子模块的指标。仿真得到的GSM/B......
[期刊论文] 作者:张凤田,唐祯安,余隽,汪家奇,,
来源:光学精密工程 年份:2008
研究了微热板的传热特性,从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空...
[期刊论文] 作者:张凤田,唐祯安,汪家奇,余隽,
来源:半导体学报 年份:2008
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层、栅多晶硅为牺牲层、第二层多晶硅为加热电...
[期刊论文] 作者:崔广云,唐祯安,汪家奇,王雪峰,
来源:热科学与技术 年份:2010
作为打印机热性能分析以及优化热设计的基础,针对影响LED(light emitting diode)彩色打印机性能的内部发热问题,采用流体/传热软件对一款LED彩色打印机的内部温度场进行了数值...
[期刊论文] 作者:张凤田,唐祯安,汪家奇,余隽,,
来源:半导体学报 年份:2008
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层、栅多晶硅为牺牲层、第二层多晶硅为加热电...
[期刊论文] 作者:李海梅,马莺,程金菊,张浩,何胜华,汪家奇,李启明,Jean,
来源:中国乳品工业 年份:2010
对云南中甸、甘肃甘南二个品种牦牛乳的基本组成、氮分布及氨基酸质量分数进行了研究。结果表明,中甸牦牛乳的平均组成为脂肪5.16%、蛋白质4.37%、乳糖4.58%、总固形物14.68%...
[期刊论文] 作者:李海梅,马莺,程金菊,张浩,何胜华,汪家奇,李启明,Jean,
来源:中国乳品工业 年份:2010
对云南中甸、甘肃甘南二个品种牦牛乳的基本组成、氮分布及氨基酸质量分数进行了研究.结果表明,中甸牦牛乳的平均组成为脂肪5.16%、蛋白质4.37%、乳糖4.58%、总固形物14.68%(...
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