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[学位论文] 作者：泰智薇,,
来源：电子科技大学 年份：2018
随着无线通讯系统的发展,对高频SAW滤波器的需求剧增,AlN压电薄膜材料成为高频声表面波（SAW）器件的研究热点。毫无疑问,AlN薄膜因具有众多压电材料无法企及的超高纵波声速而成...
[期刊论文] 作者：胡现伟,泰智薇,杨成韬,
来源：压电与声光 年份：2018
采用射频反应磁控溅射在蓝宝石(0001)衬底上沉积生长了掺杂Er的AlN薄膜。利用X线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)和阻抗分析仪对不同衬底温度下制备薄...
[期刊论文] 作者：泰智薇, 杨成韬, 胡现伟, 谢易微,,
来源：压电与声光 年份：2018
采用第一性原理密度泛函理论法研究了纤锌矿结构AlN中掺杂不同含量Er后的晶体结构和压电性能。计算结果表明,随着掺杂Er原子数比x由0增加到25%,ErxAl1-xN晶体的晶胞参数、晶...
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