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[期刊论文] 作者：温晓国,宫野,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：1997
采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区，鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层外界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区......
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