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[学位论文] 作者:潘名军,,
来源:大连理工大学 年份:2006
随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展,对硅片的加工精度和表面质量提出了更高的要求,而传统的抛光技术已不能满足要求。化学机械抛光(CMP)是目前唯一能够实现硅片局部和全局平...
[期刊论文] 作者:潘名军,,
来源:世界制造技术与装备市场 年份:2013
诞生于20世纪80年代的陶瓷结合剂CBN砂轮为汽车零部件的磨削带来了革命性的变化。相对于传统磨具,陶瓷CBN大大提升了磨削效率,具有耐磨性好、磨削精度高、切削性能好、易于修整......
[期刊论文] 作者:潘名军,
来源:现代零部件 年份:2012
剥皮磨削是一种类似于车削加工的磨削方式,通常使用4~5mm宽度的CBN砂轮实现高速、高效磨削加工。由于其良好的柔性和极高的磨削效率,在很多领域可以取代传统成形切入磨削和硬车......
[期刊论文] 作者:潘名军,,
来源:现代零部件 年份:2009
相对于外圆磨削和平面磨削,内圆磨削时的磨削接触面积更大(如图1所示)。由于受内孔尺寸的约束,磨削砂轮的尺寸、接杆、冷却条件也都受到了限制,特别针对CBN的高速高效率磨削加工,要......
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