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[期刊论文] 作者：玉川康雅,吴凡,,
来源：国外计量 年份：1990
近年来,在需要超精密定位的装置和机械中,对定位的精度和稳定性的要求日益提高,已达到纳米量级,对比,定位传感器起着重要的作用。本文以惠普(HP)公司的激光传感器为例,...
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