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[学位论文] 作者:王何美,, 来源:景德镇陶瓷大学 年份:2016
本文介绍射频磁控溅射技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate,PET)衬底上溅射沉积铝掺氧化锌(ZAO)薄膜,通过调控多工艺参数(衬底温度75-250℃、溅射功率80-170 W...
[期刊论文] 作者:王何美,朱华,冯晓炜,况慧芸,王艳香, 来源:人工晶体学报 年份:2015
采用射频磁控溅射技术,改变玻璃衬底温度制备B掺杂ZnO薄膜,薄膜的微结构及其光电性能分别用X-射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪及粗糙度测试仪进行表征。结果...
[期刊论文] 作者:王何美,朱华,张金艳,王艳香,杨志胜,郭平春,, 来源:功能材料 年份:2016
用射频磁控溅射技术改变工作压强(0.1-9Pa)在玻璃衬底上制备B掺杂ZnO 薄膜,用X 射线衍射仪、紫外G可见分光光度计、四探针测试仪及粗糙度测试仪分别对薄膜进行微结构及其光电性...
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