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[期刊论文] 作者：王善屹,郭筝,楼颖颖,钱亮,,
来源：现代电子技术 年份：2015
针对低压功率器件传统工艺流程进行创新和优化,以原有的6层掩膜板为基础,对掩膜板层数进行削减,用接触孔掩膜板完成原有的保护环掩膜板,工作区掩膜板及N＋区掩膜板的作用。器件...
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