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[期刊论文] 作者：王善慈,,
来源：微电子学 年份：1975
由于集成电路向高密度、大规模化发展,故对其光刻掩模精度的要求也越来越高。而不少地方超过了以往的掩模常规制作技术,因而在制作掩模工艺中进行尺寸检查是控制质量必...
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
4 多晶硅薄膜的电学特性 多晶硅薄膜的敏感特性与它的电学性质有着密不可分的联系。为了获得良好的多晶 硅敏感器件,必须分析其电学性质,找出它与薄膜结构、进而与生长条件、...
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1999
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[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1995
多晶硅敏感技术（连载七）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＳｅｖｅｎ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔ.........
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1995
多晶硅敏感技术（连载八）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＥｉｇｈｔ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔ.........
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1995
多晶硅敏感技术（连载九）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＮｉｎｅ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕ.........
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
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[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
l 前言 多晶硅敏感技术主要讲述多晶硅薄膜的制备、分析方法,结构、特性、敏感机理以及正在研究中的和已经商品化的典型器件。...
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
5 多晶硅薄膜的压阻效应 目前,多晶硅薄膜在传感器上的应用主要有压力传感器、加速度传感器、应变计、热电传感器及执行器等。对于前几种可归结为力学量传感器,其理论基...
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
6 多晶硅压力传感器 近些年来,随着多晶硅薄膜地深入研究,以在绝缘层上生长多晶硅薄膜(SOI)制作应变电阻器为敏感元件的压力传感器,其优越性已被广大研究者和生产部门所...
[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1994
6.4.2金属衬底的多晶硅压力传感器 单晶硅弹性膜片在直接与被测介质接触时抗冲击性差、不利于测量有腐蚀性介质的压力,且大面积单晶硅弹性膜片的成本也大。因此在特定场合用金属薄板作弹性膜片更为有利。......
[会议论文] 作者：王善慈,
来源：第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份：1991
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[期刊论文] 作者：王善慈,
来源：传感器技术 年份：1992
机电部第49研究所于1992年1月21日在哈尔滨召开了1991年度科研成果鉴定会。中电总公司军工局、中电总公司予研局、中国质量管理协会、哈尔滨市电子仪表工业总公司、哈尔滨市...
[期刊论文] 作者：曹莉莉,王善慈,,
来源：科技创新与应用 年份：2013
水库土坝是水利工程建设中的重要组成部分,它的质量直接关系到整个工程的质量。对于土坝的防渗加固我们主要采用劈裂灌浆技术,进而增强坝体的稳固性。这也是当前针对水库土坝...
[期刊论文] 作者：高桥清,王善慈,
来源：传感器技术 年份：1985
今天我给大家讲讲有关传感器方面的情况,前一段先进一下目前传感器的研制情况和存在问题,后一段讲一讲今后传感器向什么方向发展。 Ⅰ 传感器技术的现状 关于传感器技术的现...
[会议论文] 作者：莊慶德,王善慈,
来源：第二届海峡两岸制造技术研讨会 年份：2001
本文介绍了日本微机电系统的发展现状.分析了该技术发展的背景,基础技术,应用领域,面临的问题以及今后发展的趋势....
[会议论文] 作者：王蕴辉,王善慈,
来源：第七届全国可靠性物理学术讨论会 年份：1997
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[期刊论文] 作者：古川静二郎,王善慈,
来源：微电子学 年份：1982
本文介绍了非接触测量半导体晶片电参数的各种方法。由于非接触测量是非破坏性的、并且不引入新的缺陷,所以很有实际意义。它对难以形成电极的材料也能方便地加以测量。被测...
[会议论文] 作者：王蕴辉,王善慈,
来源：中国电子学会可靠性分会第九届学术年会 年份：1998
该文介绍硅压力传感器高低温环境动态疲劳寿命试验和静态参数标定系统。该系统可同时监测多路硅压力传感器在高温、低温或高低温循环条件下的疲劳寿命试验状态，精确确定每一试......
[会议论文] 作者：王蕴辉,王善慈,
来源：第九届全国可靠性物理学术讨论会 年份：2001
本文介绍了硅压力传感器可靠性综合寿命试验的思路、试验条件和试验结果....
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