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[学位论文] 作者:王平奇,, 来源:南昌航空大学 年份:2011
随着微纳技术(Micro-and Nano-technology)的不断发展,以尺寸微小、操作尺寸极小为特征的微纳器件己成为人们认识和改造客观世界的一种高新技术。由于传统的微纳加工控制技术面...
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