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[期刊论文] 作者：王浙加, 冯嘉恒, 夏洋, 明帅强, 屈芙蓉,
来源：半导体技术 年份：2022
采用热型原子层沉积（ALD）技术在单晶硅基底上成功制备了单质钨薄膜。利用场发射扫描电子显微镜（FESEM）、掠入射X射线衍射仪（GIXRD）、X射线光电子能谱仪（XPS）、四探针测试仪对样品的生长速率、晶体结构、薄膜成分以及电阻率进行了表征和分析。结果表明，热型原子层沉积技术......
[期刊论文] 作者：明帅强,王浙加,吴鹿杰,冯嘉恒,高雅增,卢维尔,夏洋,
来源：材料导报 年份：2022
本工作以单晶硅为衬底、四(二甲氨基)锡和水为前驱体,研究原子层沉积技术制备氧化锡薄膜的工艺及其光学和电学性能,并将其应用于钙钛矿太阳能电池.通过调节基底温度,详细研究了沉积温度对SnO2薄膜的沉积速率、电学、光学等特性的影响,采用钙钛矿太阳能电池器件......
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