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[期刊论文] 作者：王澍沁, 王弼陡, 吕丹辉, 杨维, 孙海旋,,
来源：机械强度 年份：2018
在MEMS技术的基础上,设计了一种梳齿式二维微纳传感器的芯片结构。通过应用硅基力敏感结构,实现了将微弱不可测力学信号转换为可测电信号;建立有限元模型,分析计算了微力传感...
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