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[学位论文] 作者:王靖琨,, 来源:沈阳建筑大学 年份:2018
近年来,随着我国旅游资源范围的持续拓展和各地支持度假产业的战略措施的陆续出现,国内旅游住宿业体现出对旅游景区住宿功能的再度重视。在旅游经济范围内,住宿业的产值增加...
[学位论文] 作者:王靖琨, 来源:桂林电子科技大学 年份:2021
光刻机是制造集成电路的核心设备,随着集成电路向先进制程不断发展,集成电路制造业对光刻机套刻精度要求越来越高。运动台定位精度、重复性决定了光刻机的套刻精度,目前对运动台定位测量的工具只有激光干涉仪和光栅尺两种,光栅尺环境鲁棒性相对较好。现阶段我国......
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