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[期刊论文] 作者:甘肇强, 来源:功能材料 年份:2002
采用溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响,结果发现在600℃下退火1h的PLT薄膜呈现钙......
[期刊论文] 作者:甘肇强,陆新华, 来源:材料科学与工程 年份:2002
改变CHF3/CH4流量比R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR-CVD)方法沉积a-C:F:H薄膜.a-C:F:H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光...
[期刊论文] 作者:张月蘅,甘肇强, 来源:功能材料与器件学报 年份:1999
用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构,具有类金刚石特性。对所制备的掺氮非晶碳薄膜用光电子能谱和红外光谱进行了表......
[期刊论文] 作者:张月蘅,甘肇强, 来源:同济大学学报:自然科学版 年份:1999
利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜,研究了溅射功率和基片温度对所沉积薄膜的的影响,对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫外光谱进行表征,所沉积的类金刚石碳薄膜是簇......
[期刊论文] 作者:叶超,宁兆元,甘肇强, 来源:苏州大学学报(自然科学) 年份:1996
本文描述了永磁非对称轴向二极场的结构和形态,这种磁场用于替代同轴线圈提供微波ECR等离子体CVD系统所需的磁场;简要分析了磁场对等离子体特性的影响。This paper describ...
[期刊论文] 作者:叶超,宁兆元,甘肇强, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:1995
本实验设计了永磁非对称轴向二极场MWECR-CVD系统,并对系统的等离子体特性进行了研究,获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。In this experiment, a permanent......
[期刊论文] 作者:甘肇强,吴雪梅,姚伟国, 来源:黑龙江科技信息 年份:2001
本文通过对荣华二采区10...
[期刊论文] 作者:张月蘅,徐政,甘肇强, 来源:功能材料与器件学报 年份:1999
用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜及掺氮非晶碳薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构,具有类金刚石特性。对所制备的掺氮非晶碳薄膜用光电子能谱和红外......
[期刊论文] 作者:许裕生,章世全,甘肇强, 来源:苏州大学学报:自然科学版 年份:1990
分析研究了非晶Fe70-xNixTi30合金薄膜的穆斯堡尔谱.四极分裂的分布及其平均值在X=30附近的行为异常,这种合金的近程结构在富Fe和富Ni成份之间可能有一个转变,存在结构畸变较大...
[期刊论文] 作者:黄松,宁兆元,辛煜,甘肇强,, 来源:物理学报 年份:2004
使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4气体感应耦合等离子体(ICP)的放电特性.结果表明,CF4等离子体的电子呈现双温分布:一类是密度低、能量高的快电子,另一类是密度高、能量低的...
[期刊论文] 作者:张月蘅,徐政,黄志强,甘肇强, 来源:同济大学学报(自然科学版) 年份:1999
利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜,研究了溅射功率和基片温度对所沉积的薄膜的性能的影响.对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫外光谱进行了表征,所沉积的类金刚石碳......
[期刊论文] 作者:沈明荣,许杞安,甘肇强, 来源:功能材料 年份:1999
在低温和常压下,通过电解甲醇和氨水混合溶液,在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试,得到了含氮8%的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和X光电子能谱对样品的测试表明:碳和氨在薄膜中是以SP......
[期刊论文] 作者:王强,沈明荣,侯芳,甘肇强, 来源:物理学报 年份:2004
采用溶胶 凝胶法 ,在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下 ,发现烘烤温度 (即溶剂的挥发温度 )对镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响 ....
[期刊论文] 作者:徐华,沈明荣,方亮,甘肇强, 来源:功能材料 年份:2004
采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备厚度为350nm的Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)、Pb0.5Ba0.5TiO3 (PBT)和Pb0.5Sr0.5TiO3 (PST)薄膜并研究了它们的介电性质.XRD显示,...
[期刊论文] 作者:徐延,程珊华,甘肇强,宁兆元, 来源:苏州大学学报(自然科学) 年份:1994
用反应蒸发法制备氧化锡薄膜,对各样品取相同的制备条件,然后,进行不同的后处理,用扫描电子显微镜观察各样品的表面形貌,分析研究,进行了初步探讨。The SnO2 thin films we...
[期刊论文] 作者:王季魁,沈明荣,方亮,甘肇强,, 来源:功能材料 年份:2006
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb1-xSrx)TiO3(PST)(x=0.45、0.50、0.55、0.60、0.65)均匀薄膜和多层膜,并研究了它们的介电性质。发现均匀薄膜在x=0.55(PST55)时......
[期刊论文] 作者:甘肇强,罗经国,诸葛兰剑,吴雪梅,姚伟国, 来源:功能材料 年份:2001
使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜 ,随着基片温度的变化 ,薄膜的成分是ε Fe2~ 3N、γ′ Fe4 N或是二相的混合物 ,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大。以振动样品磁强计(...
[期刊论文] 作者:甘肇强,诸葛兰剑,吴雪梅,姚伟国,罗经国, 来源:功能材料 年份:2001
使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜,随着基片温度的变化,薄膜的成分是ε-Fe2~3N、γ-Fe4N或是二相的混合物,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大.以振动样品磁强计(VSM)测定...
[期刊论文] 作者:董正高,沈明荣,徐闰,甘肇强,葛水兵, 来源:物理学报 年份:2002
研究了在不同温度区间氧气氛和氮气氛退火后处理对Pt Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 Pt介电特性的影响 .经过高温 5 5 0℃氮气退火处理后 ,再放入 35 0℃的氧气中退火 ,发现样品的介电特...
[期刊论文] 作者:叶超,宁兆元,汪浩,沈明荣,甘肇强, 来源:功能材料 年份:1998
利用红外光谱技术研究了微波电子回旋共振( ECR)等离子体化学气相沉积 ( CVD)法在低温条件下制备的 Si Nx 膜的键结构和氢含量 ,分析了微波功率和后处理条件对膜含氢量的影响...
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