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[期刊论文] 作者：田大准,
来源：航天工艺 年份：1989
物理气相沉积工艺,在工业应用中产生等离子体有三种重要方法。它们是真空溅射、坩埚蒸发和由电弧形成的蒸发。三种方法比较见附表一。 电弧放电产生物理气相沉积薄膜是在...
[期刊论文] 作者：田大准,
来源：黄金科学技术 年份：2004
...
[期刊论文] 作者：王殿儒,田大准,,
来源：真空科学与技术 年份：1985
本文介绍低气压水冷空腔电弧阴极的设计原理和实验结果。该冷电弧阴极在发射电流为150安培情况下已累计运行100小时以上并可继续运行。所设计的冷电弧阴极在用于全金属结构氩...
[期刊论文] 作者：王殿儒,曹尔研,张福,田大准,
来源：电子科学学刊 年份：1983
大电流电子源是高功率氩离子激光器、离子镀膜装置、真空冶炼设备等的关键部件。目前多数是采用热阴极,现在介绍一种水冷杯状空腔电弧阴极。 设计空腔电弧阴极主要考虑:散热...
[期刊论文] 作者：田大准,王殿儒,曹尔妍,张福,
来源：中国激光 年份：1983
本文简述全金属结构氩离子激光器实验的初步结果。该激光器以水冷分段铝片组成放电管, 内径8毫米, 有效放电长度300毫米。采用水冷铜环形冷弧阴极和水冷筒状阳极。...
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