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[会议论文] 作者：申践,李爱武,郑杰,张乐天,刘国范,张玉书,
来源：第五届全国光子学大会 年份：2004
本文介绍了利用溶胶-凝胶（Sol-gel）法在硅基二氧化硅上制备用于平面光波导的掺铒磷硅酸盐薄膜材料。利用可变入射角椭圆偏振仪(VASE)、X-射线衍射仪（XRD）、X-光电子能谱（XPS）和原子......
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