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[期刊论文] 作者：盆天玉,李凌云,孙浩,,
来源：半导体光电 年份：2015
提出了一种通过湿法腐蚀实现的基板缺陷共面波导电磁带隙结构,并进行了建模仿真、加工和测试。重点研究了基板缺陷结构与传统金属缺陷结构的差异,以及采用湿法腐蚀工艺的优势...
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