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[期刊论文] 作者：盛国浩,贾芳,朱德亮,曹培江,吕有明,马晓翠,
来源：半导体技术 年份：2008
采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在(0002...
[会议论文] 作者：盛国浩;贾芳;朱德亮;曹培江;吕有明;马晓翠;,
来源：第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2008
采用磁控溅射法、通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明：MgxZn1-xO薄膜在(0002...
[期刊论文] 作者：盛国浩,贾芳,朱德亮,曹培江,吕有明,马晓翠,,
来源：半导体技术 年份：2008
采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在(0002...
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