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[学位论文] 作者：石兆赫,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2017
几十年积累的大量设计经验与不断提升的制造工艺水平促成了 MEMS振动传感器研究成果的快速更新。同时,这些成果也渗透到了军品与民品等诸多应用领域。与之相比,振动传感器的...
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