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[期刊论文] 作者：黄旼,朱健,石归雄,,
来源：电子工业专用设备 年份：2017
展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CM...
[期刊论文] 作者：许姣,李俊,张国军,石归雄,张文栋,,
来源：压电与声光 年份：2012
针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双＂T＂型微机电系统（MEMS）矢量水听器。该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量......
[期刊论文] 作者：黄旼,朱健,石归雄,曹远洪,王文军,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2015
基于原子相干布局囚禁(Coherent population trapping)原理的芯片级原子钟是原子钟微型化发展的必然趋势,其中的核心微型化碱金属吸收泡起着关键性的作用。南京电子器件...
[期刊论文] 作者：石归雄,张国军,刘细宝,王晓瑶,许姣,,
来源：海洋技术 年份：2011
根据仿生鱼类侧线细胞纤毛原理,设计、制造并测试了一种新型双纤毛压阻水听器,用于检测水下声信号。与传统的压电水听器相比,这种水听器具有体积小和矢量性的优点。利用聚氨...
[期刊论文] 作者：成海峰,朱翔,候芳,胡三明,郭健,石归雄,
来源：红外与毫米波学报 年份：2021
基于硅微机械加工工艺,设计并制作一款W波段4路硅基波导功分/合成器。通过在8英寸的硅晶圆上采用干法刻蚀和晶圆级键合等工艺途径实现了硅基波导结构。根据硅微机械加工工艺...
[期刊论文] 作者：赵岩,程伟,吴立枢,吴璟,石归雄,黄子乾,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2014
南京电子器件研究所采用外延层转移技术在国内率先开展了晶体管级异构集成方嘶的研究，并于2013年突破了超薄外延层的剥离技术、异质圆片的键合技术等异构集成关键技术，成功地将......
[期刊论文] 作者：许姣,张国军,石归雄,王晓瑶,刘细宝,张文栋,,
来源：传感技术学报 年份：2011
针对仿鱼类侧线的敏感单元提出了一种新型的封装,即采用与透声帽相同材料的聚氨酯代替蓖麻油进行灌封,且聚氨酯仅淹没到纤毛的一半,该封装结构能够提高矢量水听器的灵敏度。...
[期刊论文] 作者：宋小鹏,张丛,赵玉林,尹彦梅,石归雄,薛晨阳,,
来源：压电与声光 年份：2011
针对一种纤毛式微机械电子（MEMS）矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢......
[期刊论文] 作者：赵岩,吴立枢,石归雄,程伟,栗锐,陈堂胜,陈辰,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2014
随着化合物半导体技术日益成熟，利用晶体管级异构集成技术在同一芯片内实现SiCMOS与化合物半导体的集成以获得最佳的电路／系统性能，既是技术发展的内在需求也是后摩尔时代的必然......
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