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[期刊论文] 作者：石莎莉,
来源：中外电器 年份：1994
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[学位论文] 作者：石莎莉,
来源：中国科学院微电子研究所 年份：
微热敏器件的关键是热隔离结构的设计与工艺实现。典型的热隔离结构是采用湿法、干法或者键合工艺实现的悬空薄膜或者悬空薄膜梁结构。本论文详细研究了两种典型带热隔离结构...
[学位论文] 作者：石莎莉,,
来源：中央民族大学 年份：2020
当光照射到物体后,物体和光两者之间会发生能量与动量的交换,物体受到力的作用,产生光的力学效应,该效应正是光镊原理的基础。光镊通过非接触的方式来操控微粒,从而达到无接...
[期刊论文] 作者：石莎莉, 王旭,,
来源：新材料产业 年份：2017
当今社会已经进入万物互联时代,全球物联网产业正在高速发展。预计到2020年可达到万亿美元的市场规模,随着国内加快建设智慧城市的步伐,物联网市场年增速保持在20%以上。...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,欧毅,叶甜春,,
来源：光电工程 年份：2005
提出了一种薄膜式镂空双材料单层膜微悬臂梁结构的非制冷红外焦平面成像阵列(FPA,Focal Plate Array).通过测量热膨胀系数相差较大的两种材料构成的悬臂梁受到红外辐射后的热...
[期刊论文] 作者：欧毅,石莎莉,李超波,焦斌斌,陈大鹏,
来源：半导体学报 年份：2006
以硅微机械FP腔器件为代表,该器件采用了标准的硅表面加工工艺,分析了此类具有悬空结构的MEMS器件在进行牺牲层的腐蚀和最终的结构释放过程中的各种问题.根据所遇到问题的不...
[会议论文] 作者：欧毅,石莎莉,李超波,焦斌斌,陈大鹏,
来源：第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 年份：2005
本文以硅微机械FP腔器件为代表,该器件采用了标准的硅表面加工工艺,分析了此类具有悬空结构的MEMS器件在进行牺牲层的腐蚀和最终的结构释放过程中的各种问题.根据所遇到问题...
[会议论文] 作者：石莎莉,欧毅,董立军,陈大鹏,叶甜春,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
牺牲层释放技术是制备薄膜器件的关键技术之一,牺牲层去除能释放表面硅工艺中的薄膜悬浮结构,或形成空腔.然而在释放过程中,多数情况下会出现粘连现象,导致结构失效.为解决该黏附问题,基于固态升华原理研制了一种牺牲层释放设备.结合牺牲层释放的特殊工艺要求,......
[期刊论文] 作者：陈磊,石莎莉,李贞,张洪晨,柴济民,赵宁,
来源：教育教学论坛 年份：2017
半导体物理课程主要介绍半导体材料的基本结构与性质等基础知识。这门课程是新能源科学与工程（光伏技术方向）、光电信息科学与工程以及电子科学与技术等专业中一门非常重要的基......
[期刊论文] 作者：易亮,欧毅,石莎莉,马瑾,陈大鹏,叶甜春,,
来源：Chinese Physics B 年份：2008
This paper describes a micro thermal shear stress sensor with a cavity underneath, based on vacuum anodic bonding and bulk micromachined technology. A Ti/Pt all...
[期刊论文] 作者：陈磊 石莎莉 李贞 张洪晨 柴济民 赵宁,
来源：教育教学论坛 年份：2017
摘要：半导体物理课程主要介绍半导体材料的基本结构与性质等基础知识。这门课程是新能源科学与工程（光伏技术方向）、光电信息科学与工程以及电子科学与技术等专业中一门非常重要的基础性专业课。由于课程内容的理论性很强，很多学生在学习过程中的学习兴趣不大。本文......
[会议论文] 作者：陈大鹏, 焦彬彬, 李超波, 石莎莉, 史海涛, 程腾, 张,
来源： 年份：2004
利用光力学效应设计研制了非制冷 MEMS 红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无 Si 衬底的非制冷 MEMS 红外成像焦平面阵列,分析了 FPA 热响应时间、N...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,景玉鹏,欧毅,叶甜春,徐秋霞,,
来源：Chinese Physics B 年份：2010
During the forming process of the free-standing structure or the functional cavity when releasing the high aspect ratio sacrificial layer,such structures tend t...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,欧毅,景玉鹏,徐秋霞,叶甜春,,
来源：Chinese Physics B 年份：2010
This paper presents a novel anti-shock bulk silicon etching apparatus for solving a universal problem which occurs when releasing the diaphragm (e.g.SiNx),that...
[会议论文] 作者：陈大鹏, 焦彬彬, 李超波, 石莎莉, 史海涛, 程腾, 张青川,
来源：年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集 年份：2007
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[期刊论文] 作者：景玉鹏, 黄钦文, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波, 董立军,,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由...
[期刊论文] 作者：欧毅，石莎莉，李超波，焦斌斌，陈大鹏，OuYi，ShiShali，LiChaobo，JiaoBinbin，ChenDapeng,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：陈大鹏，焦彬彬，李超波，石莎莉，史海涛，程腾，张青川，伍小平,
来源：城市道桥与防洪 年份：2007
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,丁德勇,欧毅,景玉鹏,董立军,叶甜春,
来源：微细加工技术 年份：2006
以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题.根据...
[期刊论文] 作者：董立军, 陈大鹏, 欧毅, 黄钦文, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
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