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[学位论文] 作者：程依光,
来源：中国科学院大学 年份：2017
X射线和极紫外波段在光刻、空间望远镜、X射线光谱检测和高分辨率显微镜等领域有不可替代的作用。但是在X射线和极紫外波段大多数传统的光学材料的折射率接近或者小于1，不能作......
[会议论文] 作者：刘俊伯,程依光,高洪涛,胡松,
来源：第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会 年份：2014
针对现有制作二维周期微纳结构方法的难点和不足,引入一种基于周期结构掩模衍射自成像的空域积分光刻方法[1].其大致原理如附图1 所示,利用单色紫外平面光对二维周期掩模进行...
[期刊论文] 作者：程依光,刘俊伯,胡松,何渝,
来源：光学学报 年份：2015
为了寻找一种简单有效的产生局域空心光束的方法，提出了一种利用交错型光子筛产生空心光束的方法。通过光子筛的内部区域和外部区域相消达到轴上光强为零的目的。给出了光子筛的结构和设计参数，对空心光束中心暗斑尺寸和光子筛焦距、环带数、小孔调制系数的关系进......
[期刊论文] 作者：司新春,唐燕,胡松,刘俊伯,程依光,胡淘,周毅,邓钦元,
来源：光学学报 年份：2016
提出一种基于复合光栅的对准方法，满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中，通过对叠栅条纹进行高精度相位解析，实现精对准；通过直接求取大周期光栅位置实现粗对准。由于......
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