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[学位论文] 作者:窦晓昕, 来源:浙江大学 年份:2018
随着集成电路关键尺寸(Critical Dimension)的不断减小并逐渐接近物理极限,其设计规则、制造工艺以及生产流程也变得更加复杂,由此引发的成品率下降的问题也愈发严重。测试芯片...
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