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[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：半导体设备 年份：1981
一、概述本文描述为我所的电子束曝光机配套的图形发生器系统。它包括软件和硬件两个方面,其中硬件又可分为三个组成部分:接口电路、控制器和扫描系统,实物照片如图1所示。...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：电子测量技术 年份：1981
在数模变换器(以下简称D/A)线性误差自动测试系统中,为使数字电压表(以下简称DVM)SM215MK2正常工作,在相邻两次启动DVM之间,控制程序必需插入约0.7秒的延时循环,从而显著地...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：电子测量技术 年份：1983
本文介绍用微型机远程控制8502A/AS数字万用表的方法和程序,以及8502A/AS使用中的点滴经验和体会。This article describes the methods and procedures for remotely cont...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：微型机与应用 年份：1984
一、引言随着微计算机的迅速普及,配备 IEEE-488标准接口功能的智能仪器设备愈来愈受到人们的重视,而且其数量和品种不断扩大。为了充分利用这类设备,组成各种自动测试系统,...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：半导体设备 年份：1979
用电子束系统在涂有抗蚀剂的半导体晶片上直接曝制电路图形,在集成电路的生产中得到了日益广泛的使用。这种系统以其固有的绘制图形的高分辨率,且无需通常光刻系统所需的掩模...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：电子测量技术 年份：1982
一、引言数/模和模/数转换器(以下简称D/A和A/D)广泛地应用于现代的测量和控制仪器设备之中。研制、生产和使用D/A和A/D,均要求对其性能进行准确的测量。由于D/A和A/D的性能...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：电子测量技术 年份：1984
本文叙述微型机TRS-80控制的模数变换器(ADC)自动测试装置的工作原理,测试程序及提高测试速度的方法。目前该装置可用于测试8位ADC的线性误差、微分线性误差、模糊区和台阶宽...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：电子测量技术 年份：1980
线性度是数模变换器(以下简称D/A)的一个很重要的参数。评价一个D/A的线性误差,需要进行大量的测试。用人工逐点测量,一是慢,二是要作大量重复性的误差计算,特别是随着D/A位...
[期刊论文] 作者：童忠镶,,
来源：国外计量 年份：1982
一、12位以下数-模和模-数的测试1.数-模线性误差自动测试装置在叠加误差可以忽略不计的情况下,可以用图1所示的自动测试装置,迅速测量数-模First, the number of the fol...
[期刊论文] 作者：童忠镶,陈建平,
来源：电工电能新技术 年份：1989
本文叙述图形发生器中专门设计的控制逻辑和开发的应用软件,从而使图形发生器能借助于长城86/360微机系统和一台记忆示波器实现可变矩形电子束曝光的模拟。...
[期刊论文] 作者：G.L.Varnell,童忠镶,,
来源：半导体设备 年份：2004
由于生产率的限制,电子束描绘系统通常用于制作光掩模和中间掩模。发展了一个矢量扫描电子束描绘系统(EBSP),分辨力为1—1.25μm,图形套刻精度为±0.25μm;当图形的最细线条...
[期刊论文] 作者：童忠镶,郑玉兰,
来源：电工电能新技术 年份：1989
可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。梯形曝光是通过把梯形分解成为一串单元矩形的序列,依次曝光,拼接而成。本文先简要叙述矩形曝光的控制,然后着重介绍梯形控制器...
[期刊论文] 作者：谭学伟,童忠镶,
来源：中国科学院电工研究所论文报告集 年份：1990
...
[期刊论文] 作者：童忠镶,吴石增,,
来源：半导体设备 年份：1979
过去几年,IBM在纽约的Yorktown Heights实验室发展了一种电子束刻蚀系统。现有几种型号在Yorkown的实验室运行,有一个型号在IBM San Jose实验室工作。每一个这样的系统均采取...
[会议论文] 作者：郑玉兰,童忠镶,葛璜,
来源：第六届全国电子束离子束光子束学术年会 年份：1991
...
[期刊论文] 作者：童忠镶,陈建平,翁思平,王平,
来源：电工电能新技术 年份：1989
本文叙述图形发生器中专门设计的控制逻辑和开发的应用软件,从而使图形发生器能借助于长城86/360微机系统和一台记忆示波器实现可变矩形电子束曝光的模拟。This article de...
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