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[期刊论文] 作者：童恒义,汪渊,周长庚,邱瑞,,
来源：核电子学与探测技术 年份：2014
根据核辐射探测器的要求,研究了不同处理方式下的基片对金刚石膜质量的影响以及气源中不同甲烷浓度对金刚石膜质量的影响。采用微波等离子体化学气相沉积法在Si（100）基片上制备......
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