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[期刊论文] 作者:翁惠民,黄千峰,杜罡,韩荣典,
来源:核技术 年份:1998
介绍了用慢正电子束探针研究As^+以不同角度注入Si(100)产生的缺陷以及退火后缺陷消除效应的结果,用正电子Doppler展宽湮没技术对样品作无损检测,采用一维的扩散方程进行拟合,对缺陷分布求解,获得缺......
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