搜索筛选:
搜索耗时0.0995秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 29 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：胡一贯,
来源：半导体技术 年份：1991
本文介绍了电子回旋共振等离子技术的原理、特征及在半导体工艺方面的应用。...
[期刊论文] 作者：胡一贯,
来源：现代化 年份：1992
...
[期刊论文] 作者：胡一贯,
来源：物理 年份：1996
同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展，适用于深亚微米乃至纳米图形的超微细加工，特别是ＬＩＧＡ的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域，使它不仅适合于超大规模集成电路等平面微......
[期刊论文] 作者：胡一贯,
来源：量子电子学 年份：1991
同步辐射光刻有希望代替传统光刻技术,用于0.25μm以下图形的超精细加工。本文叙述了它的原理、相关技术的开发现状和工艺应用。...
[期刊论文] 作者：胡一贯,
来源：物理 年份：1996
同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展，适用于深亚微米乃至纳米级图形的 超微细加工，特别是ＬＩＧＡ技术的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域．使它不仅适合于超大规模 集成电路......
[期刊论文] 作者：江泽慧,胡一贯,
来源：核技术 年份：2000
运用同步辐射光源，对杉木和马尾松径、弦向切片在拉应力作用下的破坏过程进行了观察。结果显示：木材在径向拉伸荷载的作用下，易在早、晚材分界处出现裂纹，并向早材部分扩展，裂纹扩......
[会议论文] 作者：魏珂,胡一贯,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
...
[期刊论文] 作者：田扬超,胡一贯,
来源：原子能科学技术 年份：1994
介绍了一种超微细加工新方法－ＬＩＧＡ技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论，同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果，ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀，电铸成型和塑料铸模等技术相结合的综合......
[期刊论文] 作者：胡一贯,乐德芬,
来源：中国科学技术大学学报 年份：1992
本文叙述了激光干涉弯曲晶片薄膜应力测定法的原理。依据这一原理建立了薄膜应力分析系统,并实际分析了作为X射线掩模基膜的Si_3N_4膜中的应力。用Stoney公式计算出Si_3N_4膜...
[会议论文] 作者：孙宝银,胡一贯,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
...
[会议论文] 作者：胡一贯,田杨超,
来源：第一次两岸同步辐射学术研讨会 年份：1993
...
[期刊论文] 作者：张东平,乐德芬,胡一贯,
来源：应用光学 年份：2001
同步辐射X射线光刻(SRXL)是本世纪超大规模集成电路(VLSI)发展中最有希望的深亚微米图形加工技术,本文综述了SRXL技术研究的现状及存在的问题,并对其今后的发展进行展望....
[期刊论文] 作者：张东平,乐德芬,胡一贯,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2002
用微波等离子体化学气相淀积法(MPCVD)在Si基片上生长了金刚石薄膜,通过对其进行Raman光谱分析,一次表征了金刚石的结构、纯度及应力状况等材料性能,同时并研究了生长过程中...
[期刊论文] 作者：张东平,乐德芬,胡一贯,
来源：微细加工技术 年份：2001
用微波等离子体化学气相沉积法在硅衬底上生长了金刚石薄膜;通过扫描电子显微镜和喇曼散射光谱对其性质进行了表征.将生成的样品分别放在氢氧化钾,四乙基氢氧化铵以及氢氟酸...
[会议论文] 作者：叶甜春,胡一贯,朱樟震,
来源：第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议 年份：1996
将该技术应用于ＨＥＭＴ器件制作也初试成功。...
[会议论文] 作者：唐掌雄,巩玲华,胡一贯,
来源：第十次全国核物理大会 年份：1997
３ＭｅＶ质子和同步辐射（超软χ射线）辐照高梁种子的当代生物效应相似，幼苗１～３片叶均出现条状叶绿素缺失变异，其缺失率接近１００℅；而＜’６０＞Ｃｏγ射线辐照则未出现此变异。......
[期刊论文] 作者：庄婉如,马英棣,胡一贯,
来源：中国激光 年份：1984
在室温至600℃退火D2 轰击过的GaAs单晶片,只要退火温度低于200℃,得到的电阻率可达(1～2)×108欧姆.厘米。用D2 轰击(GaAl)As/GaAs双异质结构片,制成的隔离条形激光器,近场、光谱、频率响应及退火等特性都与H 轰击激光器差不多。......
[期刊论文] 作者：韩阶平,赵豪,胡一贯,阚娅,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
光敏聚酰亚胺Ｘ射线光刻韩阶平，赵豪，胡一贯，阚娅（中科院微电子中心，合肥国家同步辐射实验室）光敏聚酰亚胺自问世以来就得到了人们的广泛重视，目前对光敏聚酷亚胺的光刻还大多只限于紫......
[期刊论文] 作者：江泽慧,任海青,胡一贯,刘刚,阚娅,
来源：核技术 年份：2000
运用同步辐射光源，对杉木和马尾松径、弦向切片在拉应力作用下的破坏过程进行了观察．结果显示：木材在径向拉伸荷载的作用下，易在早、晚材分界处出现裂纹，并向早材部分扩展，裂纹扩展......
[期刊论文] 作者：刘泽文,田扬超,胡一贯,阚娅,
来源：科学通报 年份：1994
光束线由前端、Be窗、激光对准、曝光快门、镜箱、3个VAT气动阀、差分系统、单次曝光机及微机测量控制系统等组成.Beam line from the front, Be window, laser alignment,...
相关搜索：
