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[期刊论文] 作者：许高斌, 徐枝蕃, 胡海霖, 陈兴, 马渊明,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2019
为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以...
[期刊论文] 作者：许高斌, 胡海霖, 徐枝蕃, 陈兴, 马渊明,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2019
提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器,该器件采取面内动平衡的振动模式,为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化,在谐振器固定端设计了悬置扭转结...
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