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[学位论文] 作者：胡耕涛,,
来源：上海师范大学 年份：2021
非晶氧化物薄膜因具有高的透明性、高迁移率、制备温度低和高均匀性等众多优点,被广泛应用到薄膜晶体管(TFT)的沟道层中。到目前为止,人们已经研究出许多性能优异的非晶氧化物薄膜,其中非晶InGaZn O薄膜的电学性能最为突出,并且基于这种材料的TFT目前也投入到了......
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