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[会议论文] 作者：王跃林,徐义刚,胡鑫松,
来源：第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份：1991
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[期刊论文] 作者：王跃林,徐义刚,陈锋,胡鑫松,
来源：电子学报 年份：1994
本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别......
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