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[期刊论文] 作者：花志平，韦庆宇,
来源：百科论坛电子杂志 年份：2019
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[期刊论文] 作者：花志平 韦庆宇,
来源：科学导报·学术 年份：2020
摘 要：PECVD中需要向真空腔室中定量加入化学药品，目前主要有2种做法，1种采用截止阀控制加药管路与反应腔室的通断，系统上控制截止阀打开的时间来达到定量，但这种加药系统受腔室负压的程度影响较大，无法准确控制药量;另外1种是采用真空计量泵，这种方式下计量准确但是价......
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