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[学位论文] 作者：范惠泽,,
来源：北京邮电大学 年份：2018
在信息技术发展日新月异的今天,大数据和云计算等新兴技术对于数据中心的性能产生了更高的需求。目前大型科技公司、银行、运营商等,在新业务的驱动下,对于计算资源的需求越...
[期刊论文] 作者：范惠泽, 刘凯, 黄永清, 蔡世伟, 任晓敏, 段晓峰, 王琦,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2017
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[期刊论文] 作者：范惠泽,刘凯,黄永清,蔡世伟,任晓敏,段晓峰,王琦,刘昊,吴瑶,费嘉瑞,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2017
自1970年,元件制造首先采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术后,至今30多年,它的发展与集成电路和光电子器件发展密不可分,很大程度上,干法刻蚀的水平决定了整个产业的水平和规...
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