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[期刊论文] 作者：董同社,,
来源：电子工业专用设备 年份：2009
介绍一种高精度的光刻机对准微动硅片台的机械结构，并对其功能和工作原理进行详细叙述。...
[期刊论文] 作者：董同社,
来源：电子工业专用设备 年份：1996
本文主要介绍了ＢＧ—６０１型大面积自动曝光机的用途、特点及主要组成机构和原理。...
[期刊论文] 作者：董同社,
来源：电子工业专用设备 年份：1999
阐述了电子专用设备中常见的，具有较大适用范围的五种矫直机构的结构设计，工作原理及适用场合。...
[期刊论文] 作者：董同社,
来源：电子工业专用设备 年份：1997
主要介绍了一种高精度基片预对准机的设计思想，机构组成，工作原理和精度分析。...
[期刊论文] 作者：董同社,
来源：电子工业专用设备 年份：1997
ＢＧ－４０１型高分辨率接触式曝光机＠董同社￥电子工业部第四十五研究所ＢＧ－４０１型高分辨率接触式曝光机董同社（电子工业部第四十五研究所甘肃平凉７４４０００）１用途与性能ＢＧ－４０１型高分辨率接触式曝光机是由电子工业部第......
[期刊论文] 作者：董同社, 靳永吉,
来源：电子工业专用设备 年份：2022
介绍了SiC用多线切割宏观切割机理与微观切割机理，指出控制钢线张力减少钢线震动是切割工艺的重要指标。讨论了切割过程主要影响因素，钢线的外包铜会造成SiC片表面金属残留，钢线磨损影响Si C片厚度，砂浆喷嘴和线网角度在形成水平薄膜层时能够获得好的表面质量。分析......
[期刊论文] 作者：马喜宝,董同社,,
来源：电子工业专用设备 年份：2011
针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计。...
[期刊论文] 作者：董同社,马喜宝,
来源：电子工业专用设备 年份：2011
根据目前我们进行半导体专用设备中机械结构设计时的主要思维特点,将产品方案的设计方法概括为系统化、结构模块化、基于产品特征知识和智能化四种类型,并总结出这四种方法的...
[期刊论文] 作者：董同社,毛善高,段成龙,
来源：电子工业专用设备 年份：2021
介绍了一种碳化硅用多线切割机张力控制系统的组成结构、工作原理,通过对多线切割机张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型.在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案,经多次实验数据和结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度......
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