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[期刊论文] 作者：红星,李晓东,高嘉伟,董成官,
来源：科学与信息化 年份：2018
多晶硅作为高纯产品,极少量的杂质都会对其品质产生严重的影响。其中金属杂质会影响载流子浓度,可大幅度降低少子寿命。本文系统阐述了排查多晶硅处理过程中可能引入的磁性金...
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