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[期刊论文] 作者：蔡颖岚,
来源：半导体光电 年份：2004
介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统....
[期刊论文] 作者：蔡颖岚,刘涛,熊征南,,
来源：数字化用户 年份：2017
由于汞灯所具备的亮度强以及电弧密度较大等的优点,其已经被广泛应用到了微电子光刻等方面.但是因为汞灯在发光的过程中受到环境中温度和电压强度的影响较大,故而在所有的光...
[期刊论文] 作者：蔡颖岚,王松,刘凯,秦云,,
来源：设备管理与维修 年份：2017
涂胶显影工艺受旋转速度的影响。剖析主轴系统工作原理。分析研究主轴结构和控制系统的发展,主轴系统的优缺点及可能遇到的失效问题,提出相应解决措施。...
[期刊论文] 作者：蔡颖岚,张勇,杜合杰,李仁豪,,
来源：半导体光电 年份：2007
介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统，分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述，阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问......
[期刊论文] 作者：蔡颖岚, 邓学文, 全晓辉, 杨滨,,
来源：设备管理与维修 年份：2018
半导体工艺基本流程和要求，调平在各主要工艺中的必要性。调平分为调与测2个步骤，几种常用测平工具和方法和在工艺调平中的应用。...
[期刊论文] 作者：胡伟, 蔡颖岚, 邓学文, 赖忠良, 唐代飞,,
来源：设备管理与维修 年份：2018
半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线.根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原....
[期刊论文] 作者：蔡颖岚, 邓学文, 唐代飞, 林禾, 毛自若,,
来源：电子工业专用设备 年份：2019
半导体工艺中的光刻是芯片制造中最关键的工艺。DFB半导体激光器的腔体结构与普通半导体激光器的腔体结构不同,需要制作周期光栅,光栅周期为亚微米数量级;鉴于亚微米光栅曝光...
[期刊论文] 作者：蔡颖岚, 胡伟, 张经洪, 凌勇, 贺联华,,
来源：设备管理与维修 年份：2018
半导体工艺根据产品需要会有不同的工艺流程和对应的工艺参数,测试设备实现工艺质量的实时监控。分析半导体工艺线测试设备的需求,做测试应用技术研究。...
[期刊论文] 作者：蔡颖岚,刘峰,杜学寨,殷玮,杜妍,
来源：设备管理与维修 年份：2019
薄膜工艺是半导体工艺重要组成部分,较广泛的采用物理气相沉积和化学气相沉积方法。通常把PECVD才直接称为淀积工艺,其工艺受多方面因素影响,通过工艺和设备技术的研究,提高...
[期刊论文] 作者：杨桦,蔡颖岚,凌瑞烽,凌勇,干蓉,
来源：设备管理与维修 年份：2020
烘烤工艺是半导体的重要工艺,贯穿于整个光刻过程。半导体光刻工艺流程中很大一部分由烘烤工艺占据,对最后形成图形的质量非常关键。典型的烘烤设备采用热板和烘箱,温度精度...
[期刊论文] 作者：蔡颖岚,刘峰,杜学寨,殷玮,杜妍,
来源：设备管理与维修 年份：2019
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