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[期刊论文] 作者：耿传文,马志斌,夏禹豪,李艳春,衡凡,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2018
利用微波等离子体化学气相沉积法在CH4/H2反应气体中引入不同低浓度氮气条件下,研究氮气对单晶金刚石生长质量的影响.利用发射光谱、拉曼光谱以及扫描电子显微镜对单晶金刚石...
[期刊论文] 作者：夏禹豪, 耿传文, 衡凡, 李方辉, 马志斌,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2018
在微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长单晶金刚石的过程中添加不同浓度的氮气,利用发射光谱、拉曼光谱等测试手段探究不同浓度氮气对等离子体以及单晶金刚石生长质量和...
[期刊论文] 作者：李艳春, 马志斌, 耿传文, 夏禹豪, 李方辉, 衡凡,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
微波等离子体化学气相沉积装置用于制备纳米金刚石膜和纳米金刚石真空窗口,气源为H2、CH4、Ar和少量O2。扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜用于表征和分析纳米...
[期刊论文] 作者：衡凡,廖学红,曹为,付秋明,许传波,赵洪阳,马志斌,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2020
利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体,在CH4/H2体系下,对高温高压单晶金刚石表面进行了碳纳米墙修饰。通过等离子体发射光谱研究ECR等离子体内基团的谱线强度在不同工作气压、...
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