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[期刊论文] 作者:衣冠君, 来源:电子工业专用设备 年份:2004
首先对深槽电容器应用于4Mb至256Mb动态随机存取记忆体的发展做简要的回顾,以便于读者了解不同时期的记忆体元件设计概念及关键技术.后半部分以示意图方式解析256Mb深槽电容...
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