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[期刊论文] 作者：许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
一种用于强流离子注入的新型2.45GHz微波离子源已由Varian公司研制成功。该源使用永磁铁产生ECR磁场。与典型的螺线型磁场微波源相比,这种源具有设计简单、结构紧凑的特点。...
[期刊论文] 作者：许春高,
来源：微细加工技术 年份：1994
ＭＥＢＥＳ－４型电子束曝光机简介１前言随着半导体集成电路制造技术向着亚半微米和超大规模集成（ＵＬＳＩ）时代的跨进，作为半导体微细加工技术核心的电子束曝光技术，以其高精度、高分辨率、高生产率、高......
[期刊论文] 作者：许春高,
来源：微细加工技术 年份：1993
美国Applied Materials公司第一次排名世界前10名半导体设备制造厂家榜首。1986年曾由美国的Perkin-Elmer公司获得过第一名,自那以后的5年中,世界前10名半导体设备制造厂家...
[期刊论文] 作者：许春高,
来源：微细加工技术 年份：1993
1 展览会概况 由电子工业部、机械工业部主办,中国贸促会机械电子行业分会、新加坡励展博览集团、上海国际贸易信息和展览公司承办的第五届中国上海国际电子生产设备及半导...
[期刊论文] 作者：Chiv.,DJ,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
弗里曼离子源至今已有30多年的历史,仍然是适用面最广、用得最多的一种离子源。由于它能够对大多数元素产生聚焦得很小、束流达毫安级的离子束,而且具有较宽的能量范围,因而...
[期刊论文] 作者：Welt.,SR,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
多极头离子源技术已在融合和等离子加工的中性束加热方面获得了应用,但把这种离子源应用于离子注入的报道却少见。多极头离子源的几何形状能满足离子注入所希望的若干特征,具...
[期刊论文] 作者：S·R·Walther,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
一种用于强流离子注入的新型2.45GHz微波离子源已由Varian公司研制成功。该源使用永磁铁产生ECR磁场。与典型的螺线型磁场微波源相比,这种源具有设计简单、结构紧凑的特点。...
[期刊论文] 作者：陶德华,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
四十五所是从事各类电子专用设备研究、制造的综合性研究所。现有职工1300人,其中专业技术人员500余人,设有11个研究室,1个中试工厂。该所有一支在应用光学、精密机械、电气...
[期刊论文] 作者：S·R·Welther,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
多极头离子源技术已在融合和等离子加工的中性束加热方面获得了应用,但把这种离子源应用于离子注入的报道却少见。多极头离子源的几何形状能满足离子注入所希望的若干特征,具...
[期刊论文] 作者：D·J·Chivers,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1992
弗里曼离子源至今已有30多年的历史,仍然是适用面最广、用得最多的一种离子源。由于它能够对大多数元素产生聚焦得很小、束流达毫安级的离子束,而且具有较宽的能量范围,因而...
[期刊论文] 作者：Shoji Shukurioo Masudau Ishitania,许春高,
来源：微细加工技术 年份：1985
用聚焦离子束注入到硅中的一种新型亚微米沟道长度器件—离子束MOSFET(IB—MOS),已显示出聚焦离子束卓有成效的应用。这种器件的有效沟道区域是在源—漏之间As~+注入的N~-栅...
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