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[期刊论文] 作者：谭连富,
来源：微电子学 年份：1983
近年来,随着大规模集成电路研制工作的发展,对高纯水中离子、微粒、细菌和胶体都提出了苛刻要求,这些杂质对MOS器件参数和成品率影响极大。在制备高纯水中,除了严格管理和操...
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