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[期刊论文] 作者：张鸿祥,富乃成,贺场,
来源：半导体技术 年份：1989
一、概述全自动四探针电阻率测试装置是为硅单晶电阻率标准量值传递而研制的,但也可以作为一般硅单晶片的电阻率测试用.该装置已于去年十月通过国家鉴定.以后又经过半年多的...
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