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[期刊论文] 作者：石中兵,童洪辉,赵喜学,
来源：真空与低温 年份：2004
磁控溅射靶材的利用率在降低生产成本中起着重要作用.正交的靶电磁场能显著地延长电子的运动路程,增加同工作气体分子的碰撞几率,提高等离子体密度,使磁控溅射速率数量级的提...
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