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[期刊论文] 作者：王涛,李金辉,赵雅绪,朱良,张少霞,张国平,孙蓉,汪正平,
来源：材料导报 年份：2020
作为耐热光敏绝缘介质材料的典型代表之一,光敏聚苯并噁唑(PSPBO)具有优异的力学性能、耐热性能、绝缘性能、低吸水率、低介电常数及突出的光刻成型能力,被广泛应用于微电子...
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