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[期刊论文] 作者：路益嘉,,
来源：科学技术与工程 年份：2013
研究了He—Luo模型和Shan模型，使用泊肃叶流动和顶盖驱动流对两个模型进行了对比测试，结果显示He—Luo模型计算比Shan模型快，Shan模型在高雷诺数时相对平均温度和平均密度的波动...
[学位论文] 作者：路益嘉,
来源：北京大学 年份：2009
在大规模集成电路的生产线上，半导体制造设备中的工艺腔室是最为关键的核心部件。此类半导体设备的关键核心技术往往集中在工艺腔室的研发上。核心工艺腔室中发生的工艺过程极......
[期刊论文] 作者：霍恒宁,程嘉,路益嘉,刘帆,
来源：机械工程与技术 年份：2018
摩擦纳米发电机(TENG)是一种新兴的将机械能转化为电能的装置,结合倍压整流电路可以构成低成本、 便携、不依赖电网的高压直流源,满足小电流高压直流电源需求。本文采用独立...
[期刊论文] 作者：王春财,程嘉,路益嘉,季林红,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2015
喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一。本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构...
[期刊论文] 作者：钟星立,季林红,刘勇谋,路益嘉,何腊梅,
来源：工业加热 年份：2020
从一个新的角度出发,提出了一种新的炉缸状态实时监测模型和一系列创新解决方案,通过现代系统创新方法提出了准确监测炉缸状态的建议,最后,对提出的方法利用CAE技术对其进行...
[期刊论文] 作者：孙钰淳, 程嘉, 路益嘉, 季林红, 王春财,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
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[期刊论文] 作者：孙钰淳, 程嘉, 路益嘉, 侯悦民, 季林红,,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2004
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[期刊论文] 作者：孙钰淳,程嘉,路益嘉,侯悦民,季林红,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2015
One of the core semiconductor devices is the electrostatic chuck.It has been widely used in plasmabased and vacuum-based semiconductor processing.The electrosta...
[期刊论文] 作者：王春财,程嘉,季林红,路益嘉,孙钰淳,林嘉,,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2015
传统的直接模拟Monte Carlo(DSMC)程序以直角网格为基础,在计算复杂的流动边界时不可避免地会带来一定误差。非结构网格虽然能够贴体地适应任何复杂流动边界,但因其拓扑结构...
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