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[期刊论文] 作者：蔡宏盛,邱欣庆,张胜雄,刘海北,
来源：中国激光 年份：2001
利用CO2 激光辅助等离子体激励式化学气相沉积系统 (Laser assistedPlasma enhancedChemicalVaporDeposition ,orLAPECVD) ,在硅 (Si)基片上沉积出非晶形含氢较低的氮化硅 (a...
[期刊论文] 作者：蔡宏盛,邱欣庆,张胜雄,刘海北,
来源：中国激光 年份：2001
利用CO2激光辅助等离子体激励式化学气相沉积系统(Laser-assistedPlasma-enhanced Chemical Vapor Deposition,or LAPECVD),在硅(Si)基片上沉积出非晶形含氢较低的氮化硅(a:Si-Nx:H)薄膜。这些薄膜的折射率增加、膜致密性及平整度良好,其抗腐蚀性亦明显提升。LA......
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