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[学位论文] 作者:郝美兰, 来源:中国科学院大学 年份:2018
[学位论文] 作者:郝美兰, 来源:大连理工大学 年份:2009
微电子机械系统(Micro Electro-Mechanical Systems MEMS)制造中,等离子体刻蚀已经成为最关键的流程之一并日渐受到人们的关注,因为利用等离子体进行刻蚀可以实现高刻蚀速率、...
[期刊论文] 作者:郝美兰,戴忠玲,王友年, 来源:等离子体科学与技术:英文版 年份:2014
A self-consistent two-dimensional(2D) collisionless fluid model is developed to simulate the effects of the low-frequency(LF) power on a dual frequency(DF) capa...
[期刊论文] 作者:戴忠玲,郝美兰,王友年,, 来源:Plasma Science and Technology 年份:2011
Since processed substrates usually exhibit nonplanar surface structures in microelectro-mechanical-systems (MEMS)etching,a two-dimensional (2D)fluid model is d...
[期刊论文] 作者:杨新荣,周晓静,王海飞,郝美兰,谷云高,赵尚武,徐波,王占国,, 来源:物理学报 年份:2015
利用固源分子束外延设备生长出InAs/InAlAs/In P(001)纳米结构材料,探讨了As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响.结果表明,As压调制的InAlAs超晶格能控制InAs量子...
[期刊论文] 作者:占香蜜,郝美兰,王权,李巍,肖红领,冯春,姜丽娟,王翠梅,王晓亮,王占国,, 来源:Chinese Physics Letters 年份:2017
Gallium nitride-(GaN) based high electron mobility transistors(HEMTs) provide a good platform for biological detection. In this work, both Au-gated AlInN/GaN HE...
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