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[学位论文] 作者:郭孝浩, 来源:上海大学 年份:2021
窄线宽半导体激光器相比于传统激光器,具有光谱线宽窄以及相干性好的优势,是半导体激光器新兴应用,包括原子钟、医学传感、激光制冷、光通信等的理想光源,本文以研制氮化镓(GaN)基分布式反馈激光器,实现蓝光窄线宽激光器为目标,对氮化镓基分布式反馈激光器的结构......
[期刊论文] 作者:郭孝浩,胡磊,任霄钰,吴思,张立群,张志军,杨辉,刘建平, 来源:发光学报 年份:2021
研究了基于BCl3/Cl2电感耦合等离子体(ICP)刻蚀对氮化镓基分布式反馈激光器中光栅的刻蚀,详细研究了刻蚀气体BCl3/Cl2流量比和压强对刻蚀台面侧壁的粗糙度、陡直度以及刻蚀速...
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